天眼查数据显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司是由中科院沈阳自动化研究所创建的国家高新技术企业，专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。公司自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可根据用户的工艺要求量身定制。