这些专利包括:气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统、用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台、具有多个均布 向下的排气管道的直拉式 硅单晶炉热场、具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法、区熔炉CCD实时监控装置、具有双电源加热的区熔炉热场、一种用于区熔炉 的辅助加热装置、大直径区熔单晶炉、蓝宝石晶体生长炉、单晶硅生长炉(全自动直拉式TDR100B-ZJS)、区熔单晶炉。
此外,公司全资子公司晶信机电还另外获得二项计算机软件著作权,包括晶信全自动单晶硅生长炉控制系统那个软件V1.0、晶信区熔硅单 晶炉系统控制软件V1.0,也均为原始取得。
截至今日,晶盛机电及全资子公司合计拥有已授权专利52项,其中发明专利9项,实用新型专利38项,外观专利5项,共获得14项软件著作权登记证书。
作者:黄群
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